안녕하세요.
통상 오토콜리메이터는 각도를 초단위로 정밀하게 측정하기 때문에 측정범위가 커야 +/-1도 정도 됩니다.
저희는 이번에 +/-7도 이상의 측정범위를 갖는 초광각("초(Ultra)"가 붙으면 좀 거창해지죠?) 오토콜리메이터를 개발했습니다. +/-1도 정도를 광각이라고 표현하기 때문에, 초광각으로 명명했습니다. 오토콜리메이터 입사각으로 보면 FOV가 28도 정도니까 수긍도 되실 것 같습니다.
위의 동영상을 보시면 rotation stage에 달린 mirror가 +/-7도로 회전할 때 센서를 통해 보여지는 spot의 모습입니다. 아주 깨끗하게 잘 나옵니다. 원점으로 다시 안 오는 것은 stage구동할 때 보상을 하지 않아서 그랬습니다. 제대로 servo 구동하면 원점으로 잘 이동합니다.
광학계가 상당히 복잡해 졌고, 내부광 반사를 최소화하는 작업이 힘든 일이었습니다만 한 단계 더 실력이 올라가는 좋은 경험이었습니다.
고맙습니다.
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